氦质谱检漏方法在真空检漏技术领域里已经得到广泛的应用,这种方法的优点是:检漏灵敏度高,可以检漏到10-11Pam3/s 数量级,仪器响应快,氦分子在仪器高真空的环境中扩散的速度很高;所以氦质谱检漏仪在许多领域里得到广泛的应用,例如,在航空航天领域里宇宙飞船、航天飞机、火箭、卫星、飞机等这些都要用到真空检漏技术。在一般工业领域里原子能、发电厂、配电站、合成氨的氮肥生产厂、汽车制造业、造船工业、制冷工业、冶金工业、输气管道、气罐、油罐、锅炉快餐食品包装等都离不开检漏问题,同样在导弹武器装备中也离不开检漏,导弹弹体、燃料储备罐、燃料运输管道、弹头、特殊部件的密封性都要用到氦质谱检漏,本文主要真对氦质谱检漏原理及方法进行综述。

氦质谱检漏仪工作原理

         图1是一个典型质谱室的剖面图,灯丝电离出来的电子经加速进入电离室,在电离室内与残余气体分子和经被检件漏孔进入电离室的氦气相互碰撞,使氦分子发生电离,He →He++e 。

图1 　质谱室本职工作作用 　　这种正铁离子在会加快电磁体的目的下流入磁体,由洛伦兹力促使氦正铁离子突发偏转,产生圆弧型轨道组件,弧长公式换算为:

            式中, R为铝阳正亚铁正阴正铝离子偏转轨道交通圆的直径; B为交变电场构造; M/Z为铝阳正亚铁正阴正铝离子的质与电荷量之比; U 为铝阳正亚铁正阴正铝离子的迅速瞬时电流线电压降。据此可看见,当R, B为规定值时,提升迅速瞬时电流线电压降,利于区别质的铝阳正亚铁正阴正铝离子借助交变电场和收发缝直达收发极而被探测到。如果你电离室外的成份表是皮肤皮肤干燥十足,在图1的进口缝处得出的铝阳正亚铁正阴正铝离子流构造的学说顶值如下图2(据皮肤皮肤干燥十足成份表画出) 如下图所示,图示顶值的宽度代表人铝阳正亚铁正阴正铝离子流构造,它与混合气体在电离室的分压不成比例;氦质谱检漏仪就是说巧用某些的工作原理,真实上把迅速瞬时电流线电压降选在氦顶值上,如下图3 如下图所示,收发极在侧板的用处下需要收发到氦铝阳正亚铁正阴正铝离子,氦铝阳正亚铁正阴正铝离子瞬时电流经历变成后充当标识漏率。

图2 　氦峰举手图

 图3 　现实的选择用的氦峰示图图