常规检漏和逆扩散检漏原理图

2020-04-18 真空技术网 真空技术网整理

　　氦质谱检漏仪的检漏方法基本上有两个，一个为通常检漏，同一个为逆蔓延检漏。逆蔓延目的如图是下图。逆蔓延检漏是把被检件接在原子核泵撒气口下端，漏入的氦气由原子核泵撒气口逆着泵的排气口定位流入装置在泵的进气口新风系统的质谱钢管内而被验测。 　　上述检漏具体方法是针对原子泵对不一质量管理的固体有着不一压缩的比(固体在原子泵吸气口压强与进气口压强之比)即采取不一固体的逆吸附度不一度而制作的。

逆扩散原理图
逆吸附方法图 　　逆散出模式检漏充许被检件压力差强较高，SFJ-231/241型氦质谱检漏仪会达1000Pa(通常常规性检漏仪为0.05Pa低于)，最时候检较大型干净的器皿或挺大漏的电子元器件，也最时候吸枪检漏。逆散出模式还兼具质谱管不方便受污染问题，灯丝使用时间长等好处。