氮质谱检漏仪是用氦气为示漏汽体的帮忙用在检漏的检测设备设备，它更具安全性能增强、迅敏较高的基本特征。是抽真空检漏水平中迅敏度最低，会用最都的检漏检测设备设备。 　　氦质谱检漏仪是磁偏企业战略变化的质谱浅析计。单极磁偏企业战略变化分析检测设备敏感度为lO-9～10-12Pam3/s，非常广泛地于各种各样的高压气模式及零电子部件的检漏。立式离心泵并联电路图磁偏企业战略变化分析检测设备与单极磁偏企业战略变化分析检测设备相较于较，本底躁声有明显缩小到.其敏感度能达10-14～10-15Pam3/s，适于超宽高压气模式、零电子部件及元电子部件的检漏。顺流氦质谱检漏仪变化了常用型分析检测设备的组成平面布置，被检件处于检漏仪主抽泵的前级的位置，但是体现了可在高负压下检漏、不需液氮及质谱室废弃物小等的特点.适于大漏率、高压气公共卫生良好的高压气模式的检漏，其敏感度能达10-12Pam3/s。 　　氦质谱检漏仪由阴离子源、探讨器、处理器、冷金属电极电离规主成了的质谱室和抽气软件及电力设备地方等主成了。

1、单级磁偏转型氦质谱检漏仪

　　现以HZJ—l型检测设备加以分析，讲述单极磁偏改变氦质谱检漏仪，其构成如图甲一样2一样。 图：单吸泵磁偏变革氦质谱检漏 仪 图：阴阳离子偏转圆的直径换算工式 　　在质谱室内设计有：由灯丝、离化室、化合物加速器极根据化合物源;由外部匀交变电场、档板及出口型夹缝根据研究器;由可以抑制栅、收录极及高阻根据收录器;独一级变成如何消除静电计管和冷负极电离规。质谱室的业务原理图如下图一样3一样。 　　在离化室N内，气味电离成正阴铁正离子，在电场强度效应下阴铁正离子焦聚成束。并在加快电压值效应下,以必要程度的时速历经加快极S1的接缝到进行分析器。在匀称电场的效应下，存在必要程度时速的阴铁正离子将按一个圆形点迹跑步，其偏转弧长可按式(5)算起。 　　常见，当B和U为定值时，的不相同质荷比me-1的铝正亚铁正离子束的偏转回转弧长R的不相同。实验室设备的B和R是确定的，控制降速电流电压U使氦铝正亚铁正离子束[图上(me-1)2]刚好完成出口量量夹缝S2，做到征集器D，出现铝正亚铁正离子流并由增加器增加。使其由输出电压表和音乐指示箭头凸显下来;而的不相同于氦质荷比的铝正亚铁正离子束[(me-1)1(me-1)3]其为偏转回转弧长与实验室设备的R值的不相同不了完成出口量量夹缝S2，因而被分離下来。(me-1)2=4，即He+的质荷比，除He+模版，C卅不多，可忘记。

2、双级串联磁偏转型氦质谱检漏仪

　　图4示出了双极900缩转并接式磁偏企业战略转型氦质谱检漏仪的质谱室。在多次定量介绍，急剧减小了非氦阴阳阴正阳阴阳离子来到处理器的机率。从而，比如2个定量介绍器的里头，即图下的里头接缝S2与相邻的档板间装置促进交变电场，使阴阳阴正阳阴阳离子在来到到第十二个定量介绍器前再次被促进。有些与氦阴阳阴正阳阴阳离子动量完全相同的非氦阴阳阴正阳阴阳离子，尽管说可不可以进行1、个定量介绍器，然而，经第十再次促进来到到第十二个定量介绍器后，在其动量与氦阴阳阴正阳阴阳离子的与众不同而被拆分粗来。在再次拆分，器材本底及本底背景噪声同质性地急剧减小，升高了器材迅敏度。 图4-5：冷凝机组电容并联磁偏转型期氦质谱检 漏仪和缓流氦质谱检漏仪

3、逆流氦质谱检漏仪

　　倒流氦质谱检漏仪的结构特征共同点如同5表达。纯虚函数机器设备是据油外吸附泵或原子泵的再降低比与乙炔气货品相关的英文的目的制作而成的。列如 ，单级油外吸附泵对氦气的再降低比值102;对水汽中某些组分的再降低比值lO4～106。检漏时，能够被检件上漏孔迈入主抽泵前级区域的氦气，仍有部位返流到质谱室中去，并由机器设备的输出精度显示灯示出漏气信号。这可是倒流氦顷质谱检漏仪的工作任务目的。