直接比对法是氦质谱检漏仪在稳定工作和引入气体相同条件下，将参考漏孔流出的氦气和标准漏孔提供的已知流量的氦气分别引入校准室中，用氦质谱检漏仪分别测量氦气产生的离子流，通过比较两次离子流的测量值计算出参考漏孔漏率的一种校准方法。这种校准范围为1×10- 7 Pa·m3/s~1×10- 10 Pa·m3/s。对同一参考漏孔，采用同样的校准测量，可以采用高斯分布统计的方法获得校准不确定度，其他不确定度分量由氦质谱检漏仪组成的校准装置决定，其合成相对不确定度可达到10%。

　　氦真空参考漏孔漏率是密封性能检测最基本、最广泛、灵敏度最高的氦质谱检漏法的标准比对器具，其量值快速、准确地现场校准和比对，对产品密封测试至关重要。目前对其校准有两类方法，一类是在实验室条件下的直接校准定容法和恒压法，另一类是既能在实验室条件也可在现场使用条件下进行校准的直接比对法。

设计原理与系统 　　单独匹配法氦正空选取漏孔漏率校正道理表达1 表达，当氦质谱检漏仪办公在安全性情形时，用已提交校正的漏率已发现的高gps精度标准规定漏孔，在检漏仪上输入安全性的无线数据信息灯，都不选定的被校正的选取漏孔也诞生安全性的无线数据信息灯输入，利用率氦质谱检漏仪输入无线数据信息灯和漏孔氦漏率的线型相互影响，选定出选取漏孔的漏率。

　　图1 对比法自校氦真空环境可以参考漏孔漏率提示图 效准执行程序 复位系统程序给出： 　　(a) 将待校借鉴标准规定漏孔1 相连到氦质谱检漏仪的标定器上;

　　(b) 打开漏孔阀门2、3，利用氦质谱检漏仪对参考漏孔和标准漏孔抽真空，使校准室压力小于1×10- 3Pa;

　　(c) 主要加载规范漏孔电动电动阀门3，按序测出各种重量级漏率的规范漏孔相应的不良发应值，关掉规范漏孔电动电动阀门3，加载要较准的分类漏孔，测量另外一只不良发应值，挑选两不良发应值尽或许类似或指定数重量级的规范漏孔用作对比的规范漏孔; 　　(d) 加载待复位的考虑漏孔的阀体2，待校考虑漏孔流入了复位室中的氦人流量为Q，测定方法同时检漏仪的表现输入輸出I1i;关闭程序截阀体2，用检漏仪测定方法系统性的本底表现输入輸出I01i; 　　(e) 开启选择择的基准漏孔球阀3，经基准漏孔4 供应量检漏仪中如图氦水流量Qs 的氦气，校正在此检漏仪的电磁波伤害为I2i;取消截球阀3，用检漏仪校正系统的本底电磁波伤害I02i;(f) 重新(d)～(e)的操作使用环节，校正n 组数据统计(n≥6)。 依据 　　通过氦质谱检漏仪，采取对比对比分析法，就可以对氦真空系统借鉴漏孔开始复位，能够满足测试图片标准要求准确度较低的借鉴漏孔复位。