溅射离子泵的抽气特性

2020-05-06 真空技术网 真空技术网整理

　　1、溅射铝离子泵的极限法压强：达到10-10Pa。 　　2、溅射阳正离子泵的抽速：在高正空时，二极型溅射阳正离子泵每一位阳极方格的抽速經驗数学公式为

二极型溅射离子泵的抽速经验公式
　　二极型溅射铁离子泵的抽速的经验公试 　　式中h 为阳极筒极度(cm);Ua为阳极电流电压(V);H 为磁体密度(A/m);d 为阳简约风网套直径(cm);e = 2.71828。 　　好几个阳极筒构成这台溅射阳离子泵时候，其总抽速不考虑一下泵口流导危害)为： 　　So = m·nfs (L/s) (6) 　　式中m 优为泵高中心点并接单无组数;n 为泵深中心点每种纵行单无数;f 为抽速能够比率，与单无排列方式业内;s为每种单无的抽速。 　　3、溅射铁离子泵在抽除惰性有毒气体时，二极泵会造成氩时好时坏判定。 　　4、溅射阴阳离子泵对生产液体废弃物刺激性，连续式抽30min油液体就可能使泵打火有难度。
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