复合分子泵作为氦质谱检漏仪的重要部件，其自身的几何参数在影响抽气性能的同时也影响检漏仪的检测性能。基于分子泵抽气基本理论，建立了复合分子泵牵引级的计算模型，通过改变螺旋升角、牵引槽深度和转子与定子的间隙，分别计算了复合分子泵牵引级对氦质谱检漏仪涉及到的2种气体——空气和氦气在不同工况下的抽气性能，研究了复合分子泵牵引级参数对氦质谱检漏仪检测性能的影响。结果表明，随着螺旋升角和牵引槽深度增大，氦质谱检漏仪的灵敏度均先提高后下降;增大转子与定子间隙，不利于氦质谱检漏仪灵敏度的提高;选取螺旋升角为22°、牵引槽深为 2.5 mm、转子与定子间隙为 0.3 mm时，氦质谱检漏仪具有较高的灵敏度，同时复合分子泵牵引级性能可靠且结构安全。

　　氦质谱检漏仪以氦气做为一个示漏其他气体，效能保持稳定，机灵高，是专门针对适用机械泵体检漏的质谱定性分析机器仪器，广选用在核工业、魅力、石化、环保健康等范围。pp原子核泵做为一个机械泵体拿到仪器，是氦质谱检漏仪的要点元件，其抽气效能可以直接影晌检漏仪的检侧效能。我国国内pp原子核泵的试制手动挡起步缓慢，与国际好产品一斜定收入差距，还不试制出氦质谱检漏技能中运用的多口pp式原子核泵。

　　复合分子泵牵引级的参数直接影响着分子泵的抽气性能，进而影响着氦质谱检漏仪的检测性能。本文以氦质谱检漏仪用复合分子泵牵引级为研究对象，建立适用于检漏技术的牵引级计算模型，改变螺旋升角、牵引槽深度和转子与定子间隙等参数，分别计算牵引级的抽气性能，结合氦质谱检漏仪的实际使用情况对由牵引级参数变化引起的检漏性能的改变进行研究。通过对分子泵的抽气性能和氦质谱仪的检测灵敏度的优化，使复合分子泵能够更好地应用于检漏技术。

1、计算模型和方法

　　先是树立氦质谱检漏仪用塑料原子核泵迁引级的换算建模、选定换算办法。 　　1.1 分子结构泵泄压阀级抽气性能方面算起建模方法 　　制动带级的运行操作过程是大团伙制动带，即高速的活动的刚表浅面带着气态大团伙，另外使之依照特定的趋势活动，下图1下图。

图1 牵引分子泵工作原理图

结论

　　应用领域逐段判别流态法折算了具有着与众不同螺旋叶片升角、伸位槽深、定子与定子间距的pp原子泵伸位级对水汽和氦气的抽气功能，设计了综上所述数据对抽气功能的决定，还有对氦质谱检漏仪敏感度的决定，得来以下的结语： 　　(1)增加槽式叶片升角，再压缩比缩减；槽式叶片升角不低于22°时，增加槽式叶片升角有益于氦质谱检漏仪论文检查灵活度的的提升；槽式叶片升角超过 22°时，增加槽式叶片升角将渐渐缩减氦质谱检漏仪论文检查灵活度。  　　(2)不断地制动器槽纵深提高，制动器级的压解比先不断地后减低；制动器槽深需小于 2.5 mm时，不断地槽深极为有有助氦质谱检漏仪测量灵巧度的大幅提升;制动器槽深超出2.5 mm，不断地槽深将正渐渐较低氦质谱检漏仪测量灵巧度。 　　(3)定子与定子开距加剧的的过程 中，K1、K2、K1/K2局部趋于减少未来趋势，K2的发生改变较 K1愈发趋于稳定;扩增定子与定子开距，有不良影响于氦质谱检漏仪查测迅敏度的加强。 　　(4)添加螺旋叶片升角为 22°、带领槽深为 2.5 mm、马达转子与定子腐蚀痕迹为0.3 mm时（适用时须还要注意公差），分子架构泵带领级稳定性尽量、架构安全性安全，氦质谱检漏仪能否刷出较高的测试精准度。